| 激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法 (发明) | |
| 孙继凤 ; 刘立峰 ; 郭晓光 ; 汤建华 ; 田兴志 | |
| 2012-03-21 | |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法，属于半导体器件的激光精细加工领域。该控制系统包括激光器、光电转换器、幅度检测电路模块、光刻控制器、脉宽可调信号发生器、扫描振镜、聚焦透镜、被调电阻。采用脉宽可调控制技术，对系列激光脉冲串的首脉冲或前几个脉冲能量进行抑制，使其等于或低于后续稳定的激光脉冲的能量。采用能量相同的…… |
| 公开日期 | 2012-03-21 |
| 专利申请号 | 200910217806.5 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11697]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙继凤,刘立峰,郭晓光,等. 激光调阻中首脉冲能量抑制的控制系统和控制方法 (发明). 2012-03-21. |
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