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| 大高宽比纳米硅立柱的感应耦合等离子体刻蚀工艺优化 期刊论文
强激光与粒子束, 2017, 期号: 7, 页码: "77-81"
作者: 李欣; 刘建朋; 陈烁; 张思超; 邓彪
  收藏 | 浏览/下载：40/0 | 提交时间：2018/08/17
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| 基于MEMS平面弹簧的微小载荷测试方法 期刊论文
2015, 2015
吴健; 刘同冈; 刘帅; 商金玮
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2017/06/15
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| Notching效应在MEMS单步干法制造工艺中的应用(英文) 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=NMJM201002015&dbname=CJFQ2010, 2012, 2012
谢建兵; 苑伟政; 常洪龙
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2017/06/19
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| 全方位抗过载的压阻式三轴加速度计 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 期号: 11, 页码: 87-90
王军诚; 吴艳红; 孙科; 杨恒; 李昕欣
收藏 | 浏览/下载：62/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造 期刊论文
传感技术学报, 2012, 期号: 7, 页码: 869-875
俞锋; 李昕欣; 于海涛
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 硅DRIE刻蚀工艺模拟研究 期刊论文
中国电子科学研究院学报, 2011
朱福运; 于民; 金玉丰; 张海霞
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2015/11/11
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| 一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究 会议论文
第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集, 第十届全国敏感元件与传感器学术会议, 中国北京, CNKI, 全国敏感元件与传感器学术团体联合组织委员会
阮勇; 叶双莉; 张大成; 任天令; 刘理天; RUAN Yong; YE Shuang-li; ZHANG Da-cheng; REN Tian-ling; LIU Li-tian
收藏 | 浏览/下载：7/0 |
| 一种控制硅深刻蚀损伤方法的研究 期刊论文
2010, 2010
阮勇; 叶双莉; 张大成; 任天令; 刘理天; RUAN Yong; YE Shuang-li; ZHANG Da-cheng; REN Tian-ling; LIU Li-tian
收藏 | 浏览/下载：2/0 |
| 基于绝缘体上硅晶片的微机电系统红外光源 期刊论文
2010
钱昆; 李方强; 程美英; 伞海生; 陈旭远
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2016/05/17
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| 新型锯齿流道压电微泵加工制作及试验(英文) 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2010, 期号: 02
关炎芳; 张国贤; 俞正寅
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2012/01/06
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