| 基于MEMS平面弹簧的微小载荷测试方法 | |
| 吴健 ; 刘同冈 ; 刘帅 ; 商金玮 | |
| 2015-09-22 ; 2015-09-22 | |
| 关键词 | MEMS 平面弹簧 微小载荷 刚度标定 测量精度 |
| 中文摘要 | 本文提出一种微小载荷测量方法,搭建了基于MEMS平面弹簧的测量装置,主要由支撑臂、MEMS平面弹簧和激光位移探测器组成.通过激光位移探测器测量MEMS平面弹簧的微小变形,换算得到所施加的微小载荷.采用深反应离子刻蚀(DRIE)等微加工工艺制作了平面微弹簧,并对其进行理论计算和仿真模拟,给出了刚度范围,最后通过实际测量的方式进行了实验标定.结果显示:MEMS平面弹簧的标定刚度为7.88 mN/μm,其结果与理论及仿真结果较接近,测量精度可达0.08 mN.使用该装置和精密电子天平分别对10组微小质量试块进行测量,其平均误差率为5.75%. |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| 源URL | [http://ir.calis.edu.cn/hdl/232060/16940]  |
| 专题 | 中国矿业大学（徐州） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴健,刘同冈,刘帅,等. 基于MEMS平面弹簧的微小载荷测试方法[J],2015, 2015. |
| APA | 吴健,刘同冈,刘帅,&商金玮.(2015).基于MEMS平面弹簧的微小载荷测试方法.. |
| MLA | 吴健,et al."基于MEMS平面弹簧的微小载荷测试方法".(2015). |
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