平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造

CORC > 上海微系统与信息技术研究所 > 中文期刊、会议、专利、成果 > 期刊论文

	平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造
	俞锋 ; 李昕欣 ; 于海涛
刊名	传感技术学报
	2012
期号	7 页码:869-875
关键词	悬臂梁传感器平面内谐振模态品质因数电热驱动液体中谐振
ISSN号	1004-1699
中文摘要	给出了一种新型的基于平面内谐振模态的电热驱动微悬臂梁的工作原理和制造方案。相比于传统的平面外谐振模态谐振式悬臂梁,该设计能有效地降低微悬臂梁在液体中工作时的拖曳力,从而降低其振动能量损失,使得其接入锁相环接口电路后的闭环品质因数达到了249。电热驱动和压阻检测方式便于工艺集成和快速检测。本文给出了基于SOI硅片和深反应离子刻蚀(DRIE)的悬臂梁制作方案,并分别在空气和水中对悬臂梁的谐振特性进行了测试。
收录类别	CNKI2012-107
语种	中文
公开日期	2013-02-22
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/110950]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	俞锋,李昕欣,于海涛. 平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造[J]. 传感技术学报,2012(7):869-875.
APA	俞锋,李昕欣,&于海涛.(2012).平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造.传感技术学报(7),869-875.
MLA	俞锋,et al."平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造".传感技术学报 .7(2012):869-875.