新型锯齿流道压电微泵加工制作及试验(英文)

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	新型锯齿流道压电微泵加工制作及试验(英文)
	关炎芳 ; 张国贤 ; 俞正寅
刊名	纳米技术与精密工程
	2010
期号	02
关键词	蜂窝系统同频组网干扰协调小区规划合作传输
ISSN号	1672-6030
中文摘要	以硅作为基底材料,采用深反应离子刻蚀(DRIE)技术加工出含有新型锯齿流道和传统锥形管的微泵,整个微泵结构为聚二甲基硅氧烷(PDMS)-玻璃-硅-PDMS式.采用阳极键合方法对硅和玻璃之间进行封装.PDMS和玻璃、PDMS和硅之间的封装采用紫外线照射方法,使PDMS表面改性,从而达到不可逆密封.分别对两种微泵在不同电压、频率以及波形驱动下的最大流量(MFR)和最大压力头(MPH)进行测试与比较,发现在固定频率下,两个微泵的最大流量和最大压力头均随驱动电压升高而升高,并且正弦波驱动下的效果要好于其他两种驱动
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52513]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	关炎芳,张国贤,俞正寅. 新型锯齿流道压电微泵加工制作及试验(英文)[J]. 纳米技术与精密工程,2010(02).
APA	关炎芳,张国贤,&俞正寅.(2010).新型锯齿流道压电微泵加工制作及试验(英文).纳米技术与精密工程(02).
MLA	关炎芳,et al."新型锯齿流道压电微泵加工制作及试验(英文)".纳米技术与精密工程 .02(2010).