全方位抗过载的压阻式三轴加速度计

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	全方位抗过载的压阻式三轴加速度计
	王军诚 ; 吴艳红 ; 孙科 ; 杨恒 ; 李昕欣
刊名	传感器与微系统
	2012
期号	11 页码:87-90
关键词	压阻式三轴集成加速度计绝缘体上硅抗过载
ISSN号	1000-9787
中文摘要	针对加速度计在碰撞中过载失效的问题,提出了一种基于SoI的具有抗过载能力的压阻式三轴集成加速度计。加速度计采用三质量块结构,利用深反应离子刻蚀(DRIE)释放出来的间隙实现横向过载保护,同时利用SoI片,在硅〈100〉平面上通过KOH腐蚀硅〈110〉补偿条形成凸角实现纵向过载保护。封装后的加速度计利用激振台和落锤法进行了测试。测试结果表明:加速度计的三轴灵敏度分别为2.56,2.54,2.05 mV/gn,分辨率分别为0.53,0.87,0.77 mgn,三轴方向均具有超过3000 gn的抗过载能力。
收录类别	CNKI2012-171
语种	中文
公开日期	2013-02-22
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/110949]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	王军诚,吴艳红,孙科,等. 全方位抗过载的压阻式三轴加速度计[J]. 传感器与微系统,2012(11):87-90.
APA	王军诚,吴艳红,孙科,杨恒,&李昕欣.(2012).全方位抗过载的压阻式三轴加速度计.传感器与微系统(11),87-90.
MLA	王军诚,et al."全方位抗过载的压阻式三轴加速度计".传感器与微系统 .11(2012):87-90.