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| 纳米梁的金硅原电池腐蚀和无损释放技术研究 期刊论文
传感器与微系统, 2011, 期号: 02
戴斌; 杨恒; 陆松涛
  收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2012/04/13
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| 采用防Footing效应工艺加工的SOI微加速度计 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2010
毛旭; 杨振川; 李志宏; 闫桂珍
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2015/11/12
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| 基于表面牺牲层工艺微谐振器的金属化与释放 其他
2009-01-01
黄一峰; 阎博; 陈兢
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2015/11/12
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| 用于纳米梁位移检测的MOS电容下压阻结构 会议论文
第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议, 2009
成海涛; 杨恒; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2012/01/18
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| 挠性双端固支梁MEMS谐振器研究 其他
2008-01-01
刘毅; 汤雅权; 于晓梅
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2015/11/12
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| 频率选择性信道下基于虚拟MIMO-STBC的无线传感器网络中功率分配的研究 期刊论文
高技术通讯, 2008, 期号: 07
严凯; 邱云周; 丁盛; 朱明华; 刘海涛
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 超薄硅纳米谐振梁的制作及谐振特性的测量 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2008, 期号: 01
夏晓媛; 李昕欣; 王跃林; 李铁; 杨衡; 焦继伟
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 纳米谐振器结构的加工技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2007
许科峰
收藏 | 浏览/下载：38/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 基于压阻检测的双端固支硅纳米梁研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2007
赵全斌
收藏 | 浏览/下载：30/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究 期刊论文
传感技术学报, 2006, 期号: 05
赵全斌; 焦继伟; 杨恒; 林梓鑫; 李铁; 张颖; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2012/01/06
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