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题名	纳米谐振器结构的加工技术研究
作者	许科峰
学位类别	硕士
答辩日期	2007
授予单位	中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）
导师	杨恒
关键词	MEMS/NEMS 谐振器 Q值 频率
学位专业	微电子学与固体电子学
中文摘要	特征尺度在纳米量级的梁结构是多种纳机电器件的基本结构。本文研究了几种基于MEMS技术的纳米梁的制造技术，利用MEMS技术中材料和工艺的特性实现了单晶硅纳米梁的制作。并且，在此基础上制成了谐振结构，用光学的方法测试了其Q值和谐振频率。 在(100)SOI硅片上，用氧化减薄的方法制作出不同长度的各种纳米梁结构，包括悬臂梁，双端固支梁和十字型梁等；并且改进了梁的释放技术，通过腐蚀衬底硅实现梁的释放，从而梁和衬底间距比较大，这样不仅降低了释放的操作难度，同时也能提高纳米梁的驱动效率。同时，制成了双端固支梁和悬臂梁
语种	中文
公开日期	2012-03-06
内容类型	学位论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83252]
专题	上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文
推荐引用方式 GB/T 7714	许科峰  . 纳米谐振器结构的加工技术研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  . 2007.

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