题名 | 纳米谐振器结构的加工技术研究 |
作者 | 许科峰 |
学位类别 | 硕士 |
答辩日期 | 2007 |
授予单位 | 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) |
导师 | 杨恒 |
关键词 | MEMS/NEMS 谐振器 Q值 频率 |
学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
中文摘要 | 特征尺度在纳米量级的梁结构是多种纳机电器件的基本结构。本文研究了几种基于MEMS技术的纳米梁的制造技术,利用MEMS技术中材料和工艺的特性实现了单晶硅纳米梁的制作。并且,在此基础上制成了谐振结构,用光学的方法测试了其Q值和谐振频率。 在(100)SOI硅片上,用氧化减薄的方法制作出不同长度的各种纳米梁结构,包括悬臂梁,双端固支梁和十字型梁等;并且改进了梁的释放技术,通过腐蚀衬底硅实现梁的释放,从而梁和衬底间距比较大,这样不仅降低了释放的操作难度,同时也能提高纳米梁的驱动效率。同时,制成了双端固支梁和悬臂梁 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2012-03-06 |
内容类型 | 学位论文 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/83252] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 许科峰 . 纳米谐振器结构的加工技术研究[D]. 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) . 2007. |
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