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半导体研究所 [12]
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期刊论文 [11]
会议论文 [1]
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Preferential orientation growth of ain thin films on si (111) substrates by lp-mocvd
期刊论文
Modern physics letters b, 2007, 卷号: 21, 期号: 22, 页码: 1437-1445
作者:
Zhao, Yongmei
;
Sun, Guosheng
;
Liu, Xingfang
;
Li, Jiaye
;
Zhao, Wanshun
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2019/05/12
Aluminum nitride
Low pressure metalorganic chemical vapor deposition (lp-mocvd)
V/iii ratio
Preferential orientation growth mechanism
Preferential orientation growth of AIN thin films on Si (111) substrates by LP-MOCVD
期刊论文
modern physics letters b, 2007, 卷号: 21, 期号: 22, 页码: 1437-1445
Zhao, YM
;
Sun, GS
;
Liu, XF
;
Li, JY
;
Zhao, WS
;
Wang, L
;
Luo, MC
;
Li, JM
收藏
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浏览/下载:42/0
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提交时间:2010/03/08
aluminum nitride
low pressure metalorganic chemical vapor deposition (LP-MOCVD)
V/III ratio
preferential orientation growth mechanism
Structural and optical properties of zno films on si substrates using a gamma-al2o3 buffer layer
期刊论文
Journal of physics d-applied physics, 2006, 卷号: 39, 期号: 2, 页码: 269-273
作者:
Shen, WJ
;
Wang, J
;
Wang, QY
;
Duan, Y
;
Zeng, YP
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2019/05/12
Structural and optical properties of ZnO films on Si substrates using a gamma-Al2O3 buffer layer
期刊论文
journal of physics d-applied physics, 2006, 卷号: 39, 期号: 2, 页码: 269-273
Shen WJ
;
Wang J
;
Wang QY
;
Duan Y
;
Zeng YP
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浏览/下载:49/0
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提交时间:2010/04/11
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
ZINC-OXIDE FILMS
MOLECULAR-BEAM EPITAXY
SAPPHIRE
GROWTH
Effects of Thickness on Properties of ZnO Films Grown on Si by MOCVD
期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 11, 页码: 2069-2073
作者:
Wang Jun
;
Wang Jun
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2010/11/23
Structural and optical characterization of zn1-xcdxo thin films deposited by dc reactive magnetron sputtering
期刊论文
Chinese physics letters, 2003, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 942-943
作者:
Ma, DW
;
Ye, ZZ
;
Huang, JY
;
Zhao, BH
;
Wan, SK
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2019/05/12
Structural and optical characterization of Zn1-xCdxO thin films deposited by dc reactive magnetron sputtering
期刊论文
chinese physics letters, 2003, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 942-943
Ma DW
;
Ye ZZ
;
Huang JY
;
Zhao BH
;
Wan SK
;
Sun XH
;
Wang ZG
收藏
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浏览/下载:387/2
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提交时间:2010/08/12
PHASE EPITAXIAL-GROWTH
PHOTOLUMINESCENT PROPERTIES
SPRAY-PYROLYSIS
ZNO
MGXZN1-XO
Structural evaluation of polycrystalline silicon thin films by hot-wire-assisted pecvd
期刊论文
Thin solid films, 2001, 卷号: 395, 期号: 1-2, 页码: 213-216
作者:
Feng, Y
;
Zhu, M
;
Liu, F
;
Liu, J
;
Han, H
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2019/05/12
Poly-si
Structure
Hot-wire
Plasma-enhanced chemical vapor deposition (pecvd)
Structural evaluation of polycrystalline silicon thin films by hot-wire-assisted PECVD
期刊论文
thin solid films, 2001, 卷号: 395, 期号: 1-2, 页码: 213-216
Feng Y
;
Zhu M
;
Liu F
;
Liu J
;
Han H
;
Han Y
收藏
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浏览/下载:161/11
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提交时间:2010/08/12
poly-Si
structure
hot-wire
plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
MICROCRYSTALLINE SILICON
HYDROGEN
Structural evaluation of polycrystalline silicon thin films by hot-wire-assisted PECVD
会议论文
1st international conference on cat-cvd (hot wire cvd) process, kanazawa, japan, nov 14-17, 2000
Feng Y
;
Zhu M
;
Liu F
;
Liu J
;
Han H
;
Han Y
收藏
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浏览/下载:21/0
  |  
提交时间:2010/11/15
poly-Si
structure
hot-wire
plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
MICROCRYSTALLINE SILICON
HYDROGEN
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