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| 基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器 期刊论文
仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11
魏长征; 周伟; 李昕欣
  收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2012/04/13
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| 硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制 期刊论文
仪表技术与传感器, 2009, 期号: S1
王家畴; 李昕欣; 孙立宁
收藏 | 浏览/下载：21/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 服务于微电子产业的MEMS新技术 会议论文
第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009
程融; 蒋珂玮; 李昕欣
收藏 | 浏览/下载：26/0 | 提交时间：2012/01/18
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| 服务于微电子产业的MEMS新技术 期刊论文
仪表技术与传感器, 2009, 期号: S1
程融; 蒋珂玮; 李昕欣
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 一种封装后释放的准LIGA加工工艺研究 期刊论文
微细加工技术, 2008, 期号: 03
陆松涛; 俞正寅; 庞洁; 沈时强; 杨恒
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 薄膜厚埋层SOI材料的新制备技术 期刊论文
半导体学报, 2008, 期号: 07
魏星; 王湘; 陈猛; 陈静; 张苗; 王曦; 林成鲁
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 基于PDMS模具热模压制备微流控通道结构的方法 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 01
潘欣欣; 陈翔; 陈迪; 庄贵生
收藏 | 浏览/下载：31/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 基于MEMS技术的磁珠微芯片的模拟及工艺研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2006
王彬
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 微流体及纳米磁珠在生物医学上的应用研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2005
陈翔
收藏 | 浏览/下载：65/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 芯片实验室的制备技术 期刊论文
功能材料与器件学报, 2003, 期号: 04
邹志青; 周天; 赵建龙; 徐元森
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2012/01/06
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