芯片实验室的制备技术

	芯片实验室的制备技术
	邹志青 ; 周天 ; 赵建龙 ; 徐元森
刊名	功能材料与器件学报
	2003
期号	04
关键词	非平衡调制曼彻斯特编码锁相环路 FPGA
ISSN号	1007-4252
中文摘要	阐述了芯片实验室的材料、微细加工、流体驱动等制备技术的近期研究进展。系统介绍了芯片实验室的各种制备技术,这些技术包括紫外光刻、软刻蚀、LIGA技术、DEM技术、键合等。流体驱动是芯片实验室的动力,对多种新颖的流体驱动设计进行了对比,这些设计包括压力驱动、电渗驱动、电水力驱动、表面张力驱动、离心力驱动等。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/49961]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	邹志青,周天,赵建龙,等. 芯片实验室的制备技术[J]. 功能材料与器件学报,2003(04).
APA	邹志青,周天,赵建龙,&徐元森.(2003).芯片实验室的制备技术.功能材料与器件学报(04).
MLA	邹志青,et al."芯片实验室的制备技术".功能材料与器件学报 .04(2003).