服务于微电子产业的MEMS新技术

	服务于微电子产业的MEMS新技术
	程融 ; 蒋珂玮 ; 李昕欣
刊名	仪表技术与传感器
	2009
期号	S1
关键词	微加工工艺技术 CMOS后端集成滤波器射频集成电路
ISSN号	1002-1841
中文摘要	UV-LIGA技术是MEMS微细加工中一种非常重要的技术。结合厚胶工艺,可以利用金属电镀的方法制作出各种金属MEMS结构。UV-LIGA技术一方面由于其低温的特点可以很好的与后COMS工艺兼容,被用在片上集成高性能射频无源器件方面。另一方面,还可以将金属电镀工艺与硅微机械技术相结合,制作出用于圆片级测试的微机械探卡。文中主要介绍这种有产业前景的技术及其在器件制作上取得的成果。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52118]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	程融,蒋珂玮,李昕欣. 服务于微电子产业的MEMS新技术[J]. 仪表技术与传感器,2009(S1).
APA	程融,蒋珂玮,&李昕欣.(2009).服务于微电子产业的MEMS新技术.仪表技术与传感器(S1).
MLA	程融,et al."服务于微电子产业的MEMS新技术".仪表技术与传感器 .S1(2009).