基于PDMS模具热模压制备微流控通道结构的方法

	基于PDMS模具热模压制备微流控通道结构的方法
	潘欣欣 ; 陈翔 ; 陈迪 ; 庄贵生
刊名	微细加工技术
	2007
期号	01
关键词	负介电常数材料负磁导率材料单负材料带通滤波器
ISSN号	1003-8213
中文摘要	介绍了一种利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的快速成型来制备模具,再进行热模压制造微流控通道结构的方法。通过在硅片上旋涂SU-8胶进行光刻显影,得到结构模版,在此模版上浇注PDMS,脱模即得到PDMS模具。将PDMS模具进行热压,成功地在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片上复制了特定的微流控通道结构。相对于常规的硅微加工和UV-LIGA工艺制造热模压模具,本方法具有加工周期短、工艺简单、成本低等优点。另外,还对温度、压力、时间等热模压的主要工艺参数进行了初步的优化研究。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51382]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	潘欣欣,陈翔,陈迪,等. 基于PDMS模具热模压制备微流控通道结构的方法[J]. 微细加工技术,2007(01).
APA	潘欣欣,陈翔,陈迪,&庄贵生.(2007).基于PDMS模具热模压制备微流控通道结构的方法.微细加工技术(01).
MLA	潘欣欣,et al."基于PDMS模具热模压制备微流控通道结构的方法".微细加工技术 .01(2007).