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全方位抗过载的压阻式三轴加速度计 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 期号: 11, 页码: 87-90
王军诚; 吴艳红; 孙科; 杨恒; 李昕欣
收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2013/02/22
基于金硅原电池保护电容加速度计的制作 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 133-136
王辉; 吴燕红; 杨恒
收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2013/02/22
平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造 期刊论文
传感技术学报, 2012, 期号: 7, 页码: 869-875
俞锋; 李昕欣; 于海涛
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/02/22
锯齿型微流道微泵流动特性分析及性能测试 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2012, 期号: 5, 页码: 451-457
关炎芳; 刘春波; 张士雄; 俞正寅
收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2013/02/22
High Q Single Crystal Silicon Micromechanical Resonators With Hybrid Etching Process 期刊论文
IEEE SENSORS JOURNAL, 2012, 卷号: 12, 期号: 7, 页码: 2414-2415
Wu, GQ; Xu, DH; Xiong, B; Wang, YL
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2013/04/23
基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器 期刊论文
传感器与微系统, 2011, 期号: 03
肖育华; 宋朝辉; 戈肖鸿; 车录锋
收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/04/13
封装制作晶圆TSV过程中所采用的腐蚀槽和工艺方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101840856A, 申请日期: 2010-09-22, 公开日期: 2010-09-22
陈骁; 罗乐; 徐高卫; 袁媛
收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/01/06
采用BCB辅助键合以实现穿硅通孔封装的制作工艺 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101834159A, 申请日期: 2010-09-15, 公开日期: 2010-09-15
陈骁; 罗乐; 徐高卫; 袁媛
收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/01/06
新型锯齿流道压电微泵加工制作及试验(英文) 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2010, 期号: 02
关炎芳; 张国贤; 俞正寅
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/01/06
微机械陀螺DRIE刻蚀过程中的局域掩膜效应 期刊论文
传感技术学报, 2010, 期号: 08
冷悦; 焦继伟; 张颖; 顾佳烨; 颜培力; 宓斌玮
收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2012/01/06

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