基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器

	基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器
	肖育华 ; 宋朝辉 ; 戈肖鸿 ; 车录锋
刊名	传感器与微系统
	2011
期号	03
关键词	蛇形曲折梁塑性变形垂直驱动静电梳齿驱动器
ISSN号	1000-9787
中文摘要	设计了基于硅塑性变形的垂直梳齿驱动器,中央可动微镜由四组蛇形曲折梁支撑。驱动器的制作采用硅—硅键合技术,首先利用DRIE干法刻蚀技术释放可动梳齿与固定梳齿,然后通过各向异性湿法腐蚀制作的施压凸台实现可动梳齿和固定梳齿的精确自对准,最后利用硅塑性变形使可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,成功制作出在Z方向依靠位错梳齿实现垂直驱动的蛇形梁静电梳齿驱动器。
语种	中文
公开日期	2012-04-13
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/107019]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	肖育华,宋朝辉,戈肖鸿,等. 基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器[J]. 传感器与微系统,2011(03).
APA	肖育华,宋朝辉,戈肖鸿,&车录锋.(2011).基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器.传感器与微系统(03).
MLA	肖育华,et al."基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器".传感器与微系统 .03(2011).