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| 三轴集成加速度传感器及其SIP微模块集成的研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012 王军诚
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| 中高速传感网OFDM基带系统实现 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012 丁承
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2013/04/24
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| 三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文 半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814 蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健
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| 在单硅片上单面微加工制作的悬臂梁加速度传感器及方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101968495A, 申请日期: 2011-02-09, 公开日期: 2011-02-09 李昕欣; 王家畴
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| 基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器 期刊论文 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11 魏长征; 周伟; 李昕欣
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2012/04/13
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| 低热机械噪声MEMS加速度计设计 期刊论文 传感器与微系统, 2011, 期号: 11 杨丹琼; 陈志龙; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2012/04/13
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| 基于静电力的微液滴驱动芯片 期刊论文 传感器与微系统, 2011, 期号: 02 刘翔; 高安然; 李铁; 周萍; 王跃林
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| 非致冷红外探测器的低温真空封装结构及制作方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101691200A, 申请日期: 2010-04-07, 公开日期: 2010-04-07 熊斌; 徐德辉; 王跃林
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| 一种基于QCM的液相混合微芯片的制作与应用 期刊论文 功能材料与器件学报, 2010, 期号: 02 朱德峰; 许宝建; 程建功; 金庆辉; 赵建龙; 徐元森
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| 绝地传感器芯片 成果 鉴定: 无, 2010 未知
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:29/0  |  提交时间:2013/04/12 |