基于静电力的微液滴驱动芯片

	基于静电力的微液滴驱动芯片
	刘翔 ; 高安然 ; 李铁 ; 周萍 ; 王跃林
刊名	传感器与微系统
	2011
期号	02
关键词	微流控液滴静电驱动共平面电极
ISSN号	1000-9787
中文摘要	为了精确操控微流体,设计并制作了一种基于静电力的微液滴驱动芯片。介绍了驱动原理和工艺流程,搭建了驱动检测实验平台。芯片采用开放式的结构,只需单层共平面控制电极,以硅作衬底,氧化硅和多晶硅作绝缘层,重掺杂多晶硅为驱动电极阵列,高质量Si3N4作介质层,碳氟聚合物为疏水层。实验表明:微液滴可在芯片上按程序设定方式在二维平面内流畅运动,最小驱动电压为15V,最大运动速度达96mm/s。芯片制作工艺简单,操作方便,可应用于生化分析芯片实验室系统。
语种	中文
公开日期	2012-04-13
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/107023]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	刘翔,高安然,李铁,等. 基于静电力的微液滴驱动芯片[J]. 传感器与微系统,2011(02).
APA	刘翔,高安然,李铁,周萍,&王跃林.(2011).基于静电力的微液滴驱动芯片.传感器与微系统(02).
MLA	刘翔,et al."基于静电力的微液滴驱动芯片".传感器与微系统 .02(2011).