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| 新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
周晓峰
  收藏 | 浏览/下载：131/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造 期刊论文
传感技术学报, 2012, 期号: 7, 页码: 869-875
俞锋; 李昕欣; 于海涛
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 基于MEMS技术的堆叠式二轴微镜阵列驱动器及应用 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102129125A, 申请日期: 2011-07-20, 公开日期: 2011-07-20
李四华; 吴亚明
收藏 | 浏览/下载：30/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 微悬臂谐振传感器闭环接口和嵌入式频率电路 期刊论文
微纳电子技术, 2010, 期号: 06
甘小华; 刘民; 于海涛; 许鹏程; 李昕欣
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 侧壁压阻式力传感器的研制与标定 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2010, 期号: 03
陈涛; 孙立宁; 陈立国; 荣伟彬; 李昕欣; 王家畴
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2012/01/06
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| MEMS谐振式微悬臂梁生化传感器闭环接口和嵌入式频率读出电路研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2010
甘小华
收藏 | 浏览/下载：42/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 提高谐振式超薄悬臂梁传感器灵敏度的表面应力敏感方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101477029, 申请日期: 2009-07-08, 公开日期: 2009-07-08
夏晓媛; 李昕欣
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 阻尼介质温度对MEMS高量程加速度传感器动态输出特性的影响 期刊论文
仪表技术与传感器, 2009, 期号: 05
杨尊先; 李昕欣; 于映; 陈国南
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 服务于IC产业的MEMS探卡 期刊论文
微纳电子技术, 2009, 期号: 12
程融; 蒋珂玮; 汪飞; 李昕欣
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 基于热光效应的红外焦平面阵列器件 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2009
闫许
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2012/03/06
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