| 题名 | MEMS谐振式微悬臂梁生化传感器闭环接口和嵌入式频率读出电路研究 |
| 作者 | 甘小华 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2010 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 李昕欣 |
| 关键词 | 谐振微悬臂梁传感器 闭环接口电路 锁相环 自动增益控制 嵌入式频率读 出电路 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 本论文针对实验室自制的谐振悬臂梁生化传感器，研究和设计了其闭环接口电路， 从而使传感器能够实现快速、自动的生化检测。为了满足悬臂梁生化传感器进一步产业 化的需求，设计了嵌入式的频率读出电路，可实时测量和显示悬臂梁的谐振频率。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82531]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 甘小华. MEMS谐振式微悬臂梁生化传感器闭环接口和嵌入式频率读出电路研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2010. |
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