阻尼介质温度对MEMS高量程加速度传感器动态输出特性的影响

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	阻尼介质温度对MEMS高量程加速度传感器动态输出特性的影响
	杨尊先 ; 李昕欣 ; 于映 ; 陈国南
刊名	仪表技术与传感器
	2009
期号	05
关键词	块结构广义多载波重叠传输滤波器组
ISSN号	1002-1841
中文摘要	以一种压阻式曲面过载保护高g加速度传感器为对象,为研究阻尼介质温度对器件动态冲击性能的影响,为进一步研制高性能传感器提供理论依据,利用有限元方法,分别研究在不同压阻掺杂浓度及阻尼介质温度下,器件经受105g峰值的半正弦加速度脉冲时动态响应特性。结果表明:器件动态冲击响应实际上是受迫振动与器件悬臂梁固有频率振动相叠加的结果;随着阻尼介质温度逐渐升高,动态输出特性中受加速度冲击受迫振动渐显,响应峰值电压线性降低,且压阻掺杂浓度越低,峰值电压下降越快,温敏效应越不明显。因此,为了提高高量程加速度传感器工作稳定性
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52078]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	杨尊先,李昕欣,于映,等. 阻尼介质温度对MEMS高量程加速度传感器动态输出特性的影响[J]. 仪表技术与传感器,2009(05).
APA	杨尊先,李昕欣,于映,&陈国南.(2009).阻尼介质温度对MEMS高量程加速度传感器动态输出特性的影响.仪表技术与传感器(05).
MLA	杨尊先,et al."阻尼介质温度对MEMS高量程加速度传感器动态输出特性的影响".仪表技术与传感器 .05(2009).