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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于硅衬底制作绝热防粘连空腔的方法 专利 专利号: CN200710178776.2, 申请日期: 2012-05-23, 公开日期: 2009-06-10 作者:  叶甜春;  石莎莉;  陈大鹏;  欧毅;  景玉鹏 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2010/11/26 纳米压印和光学光刻匹配混合的声表面波器件制备方法 专利 专利号: CN200510126232.2, 申请日期: 2008-12-24, 公开日期: 2007-06-13 作者:  谢常青;  刘明;  涂德钰;  陈宝钦;  牛洁斌 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2010/11/26 纳米压印光刻模版制作技术 期刊论文 电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 2, 页码: 26-32 作者:  陈大鹏;  谢常青;  范东升 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2010/05/26 纳米压印  模版制作  防粘连处理   一种声表面波器件的制备方法 专利 专利号: CN200610003586.2, 公开日期: 2007-08-22 作者:  谢常青;  王丛舜;  牛洁斌;  涂德钰;  陈宝钦 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/11/26