一种声表面波器件的制备方法

	一种声表面波器件的制备方法
	谢常青; 王丛舜; 牛洁斌; 涂德钰; 陈宝钦; 刘明
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN200610003586.2
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	一种声表面波器件的制备方法，其工艺步骤如下：1.在压电基片上旋涂压印胶；2、制备声表面波器件压模并对其表面进行防粘连处理；3. 将带有声表面波器件电极图形的压模压入压印胶中，通过加热、加压或紫外光辐照固化等压印方式得到电极的胶图形；4.分离压模和基片；5. 利用氧等离子干法刻蚀残胶，直到露出基片；6.溅射或蒸发电极材料； 7.剥离得到电极图形，完成声表面波器件的制备。
公开日期	2007-08-22
申请日期	2006-02-15
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/8162]
专题	微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年）
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	谢常青,王丛舜,牛洁斌,等. 一种声表面波器件的制备方法. CN200610003586.2.