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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 内容类型：专利    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 小尺寸鳍形结构的制造方法 专利 专利号: CN201110261527.6, 申请日期: 2015-12-09, 公开日期: 2013-03-20 作者:  杨涛;  赵超;  李俊峰;  卢一泓 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2016/09/18 一种Mo基/TaN金属栅叠层结构的刻蚀方法 专利 申请日期: 2010-06-30, 作者:  李永亮;  徐秋霞 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2016/09/30 一种插入式TiN金属栅叠层结构的制备和刻蚀方法 专利 申请日期: 2010-04-21, 作者:  李永亮;  徐秋霞 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2016/09/30 一种选择性去除TaN金属栅电极层的方法 专利 申请日期: 2009-09-25, 公开日期: 2016-03-18 作者:  李永亮;  徐秋霞 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2016/03/18