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| 微电子机械系统及硅微机械加工工艺 期刊论文
2003
洪永强; 蒋红霞
  收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2011/04/26
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| 双转子平面微电机定子制作工艺研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 73-75+80
梁静秋; 郭占社; 吴一辉; 王淑荣; 张平; 宣明
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2013/03/11
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| 微光机电器件及其关键技术研究 学位论文
长春光学精密机械与物理研究所: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2003
作者: 梁静秋
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2012/03/21
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| 芯片实验室的制备技术 期刊论文
功能材料与器件学报, 2003, 期号: 04
邹志青; 周天; 赵建龙; 徐元森
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 利用紫外光刻技术进行SU8胶的研究 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: Z1, 页码: 126-128+141
作者: 伊福廷 ; 张菊芳; 彭良强; 韩勇
收藏 | 浏览/下载：26/0 | 提交时间：2015/12/25
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| 3B1束线上LIGA掩模的设计研究 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: Z1, 页码: 147-150
作者: 黄军容; 彭良强; 伊福廷; 蒋毅坚; 张菊芳
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2015/12/25
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| BSRF上的微细塑铸研究 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: Z1, 页码: 145-146
作者: 韩勇; 彭良强; 陈迪; 伊福廷; 张菊芳
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2015/12/25
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