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期刊论文 [9]
会议论文 [1]
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2018 [1]
2010 [7]
2009 [1]
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A strong saddle-shaped surface-to-volume ratio effect on the Young's modulus of silicon nanotubes
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2018, 卷号: 112
作者:
Yue, Yonghai
;
Gong, Qihua
;
Li, Zhiqin
;
Duan, Huigao
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2019/12/30
Electron beam lithography
Nanotubes
Reactive ion etching
Silicon
Yarn
Device application
In-situ compression
Nano-scale objects
Nanofabrication process
One-dimensional nanomaterials
Silicon nanotubes
Single crystalline silicon
Surface-to-volume ratio
Elastic moduli
A process study of electron beam nano-lithography and deep etching with an ICP system
期刊论文
2010, 2010
Li QunQing
;
Zhang LiHui
;
Chen Mo
;
Fan ShouShan
收藏
  |  
浏览/下载:4/0
人工裁剪制备石墨纳米结构
期刊论文
2010, 2010
刘首鹏
;
周锋
;
金爱子
;
杨海方
;
马拥军
;
李辉
;
顾长志
;
吕力
;
姜博
;
郑泉水
;
王胜
;
彭练矛
;
Liu Shou-Peng
;
Zhou Feng
;
Jin Ai-Zi
;
Yang Hai-Fang
;
Ma Yong-Jun
;
Li Hui
;
Gu Chang-Zhi
;
Lv Li
;
Jiang Bo
;
Zheng Quan-Shui
;
Wang Sheng
;
Peng Lian-Mao
收藏
  |  
浏览/下载:2/0
提高离子束刻蚀亚微米光栅侧壁陡直度的方法
期刊论文
2010, 2010
孟祥峰
;
李立峰
;
Meng Xiangfeng
;
Li Lifeng
收藏
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浏览/下载:1/0
Microstructure and electronic properties of Al/Zr/LiNbO/sub 3/ multilayers
会议论文
Materials Science Forum, Fifth Pacific Rim International Conference on Advanced Materials and Processing PRICM-5, Beijing, China, INSPEC
Li, D.M.
;
Pan, F.
;
Wang, X.B.
;
Niu, J.B.
;
Liu, M.
收藏
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浏览/下载:5/0
In situ endpoint detection of reactive ion-beam etching of dielectric gratings with an etch-stop layer using downstream mass spectrometry
期刊论文
2010, 2010
Meng, Xiangfeng
;
Li, Lifeng
收藏
  |  
浏览/下载:2/0
Fabrication of graphite nano-structures
期刊论文
2010, 2010
Liu, SP
;
Zhou, F
;
Jin, AZ
;
Yang, HF
;
Ma, YJ
;
Li, H
;
Gu, CZ
;
Lu, L
;
Jiang, B
;
Zheng, QS
;
Wang, S
;
Peng, LM
收藏
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浏览/下载:1/0
Reactive ion etching and ion beam etching for ferroelectric memories
期刊论文
2010, 2010
Tian-Qi Shao
;
Tian-Ling Ren
;
Li-Tian Liu
;
Jun Zhu
;
Zhi-Jian Li
收藏
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浏览/下载:4/0
A Microfabricated Planar Electrospray Array Ionic Liquid Ion Source With Integrated Extractor
期刊论文
Microelectromechanical Systems, Journal of, 2009, 卷号: Vol.18 No.3, 页码: 679-694
作者:
Akinwande,A.I.
;
Martinez-Sanchez,M.
;
Gassend,B.
;
Velasquez-Garcia,L.F.
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2020/01/13
Bias
voltage
Composite
micromechanics
Current
voltage
characteristics
Dissociation
Electromagnetic
pulse
Electron
beam
lithography
Electrostatics
Information
management
Ion
sources
Ionization
of
liquids
Ions
Mass
spectrometers
Mass
spectrometry
MEMS
Microelectromechanical
devices
Microfabrication
Mining
Reactive
ion
etching
Three
dimensional
人工裁剪制备石墨纳米结构
期刊论文
物理学报, 2005
刘首鹏
;
周锋
;
金爱子
;
杨海方
;
马拥军
;
李辉
;
顾长志
;
吕力
;
姜博
;
郑泉水
;
王胜
;
彭练矛
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/12
高定向热解石墨 聚焦离子束刻蚀 电子束曝光 反应离子刻蚀
highly oriented pyrolytic graphite
focused ion beam etching
electron beam lithography
reactive ion etching
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