人工裁剪制备石墨纳米结构

doi:10.3321/j.issn:1000-3290.2005.09.053

CORC > 北京大学 > 信息科学技术学院

	人工裁剪制备石墨纳米结构; Fabrication of graphite nano-structures
	刘首鹏 ; 周锋 ; 金爱子 ; 杨海方 ; 马拥军 ; 李辉 ; 顾长志 ; 吕力 ; 姜博 ; 郑泉水 ; 王胜 ; 彭练矛
刊名	物理学报
	2005
关键词	高定向热解石墨聚焦离子束刻蚀电子束曝光反应离子刻蚀 highly oriented pyrolytic graphite focused ion beam etching electron beam lithography reactive ion etching
DOI	10.3321/j.issn:1000-3290.2005.09.053
英文摘要	采用不同的方法裁剪高定向热解石墨(HOPG),制备纳米尺寸的石墨条.首先,发现用聚焦离子束(镓离子)刻蚀高定向热解石墨,可以得到边缘整齐程度在几十纳米的石墨条,另外,用电子束曝光和反应离子刻蚀的工艺,可以得到最小尺寸为50 nm的纳米石墨图型 (nano-sized graphite pattern,纳米尺寸的多层石墨结构).采用了三种不同的方案制备反应等离子刻蚀过程中需要的掩膜,分别是PECVD生长的SiO2掩膜,磁控溅射的方法生长的SiO2掩膜和PMMA光刻胶掩膜,并将三种方案的刻蚀结果做了对比.; Nano-sized graphite patterns were obtained by tailoring graphite sheets using different methods. With focused ion beam etching we are able to produce grooves of minimum width similar to 30 mm. However, at the edges of the grooves there deposit with Ga-C compound which prevents the easy cleavage of the graphite sheets. With electron beam lithography and reactive ion etching techniques we are able to produce graphite patterns of sizes down to 50 mm. Three different types of masks are tested, and the results are compared and discussed.; http://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=PARTNER_APP&SrcAuth=LinksAMR&KeyUT=WOS:000231569500053&DestLinkType=FullRecord&DestApp=ALL_WOS&UsrCustomerID=8e1609b174ce4e31116a60747a720701 ; SCI(E); 中文核心期刊要目总览(PKU); 中国科技核心期刊(ISTIC); 中国科学引文数据库(CSCD); 8; 9; 4251-4255; 54
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/253050]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	刘首鹏,周锋,金爱子,等. 人工裁剪制备石墨纳米结构, Fabrication of graphite nano-structures[J]. 物理学报,2005.
APA	刘首鹏.,周锋.,金爱子.,杨海方.,马拥军.,...&彭练矛.(2005).人工裁剪制备石墨纳米结构.物理学报.
MLA	刘首鹏,et al."人工裁剪制备石墨纳米结构".物理学报 (2005).