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山东大学 [2]
上海大学 [2]
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期刊论文 [3]
学位论文 [1]
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2016 [1]
2015 [3]
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溅射气压对铟锡锌氧化物薄膜晶体管性能的影响
期刊论文
真空科学与技术学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 4, 页码: 391-396
作者:
刘媛媛
;
赵继风
;
李延辉
;
宋淑梅
;
辛艳青
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/17
溅射气压
铟锡锌氧化物薄膜晶体管
磁控溅射
光学带隙
铪铝氧化物复合绝缘介质薄膜及高迁移率锌铟锡氧化物薄膜晶体管的研究
学位论文
: 上海大学, 2015
作者:
朱乐永[1]
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2019/04/26
薄膜晶体管
溶液法
高k氧化物
锌铟锡氧化物
高迁移率
溶胶凝胶法制备以HfO_2为绝缘层和ZITO为有源层的高迁移率薄膜晶体管
期刊论文
物理学报, 2015, 卷号: 64, 页码: 441-447
作者:
朱乐永[1]
;
高娅娜[2]
;
张建华[3]
;
李喜峰[4]
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2019/04/30
薄膜晶体管
氧化铪
锌铟锡氧化物
场效应迁移率
射频功率对ITZO薄膜结构、形貌及光电特性的影响
期刊论文
人工晶体学报, 2015, 卷号: 44, 期号: 9, 页码: 2338-2342+2349
作者:
童杨
;
王昆仑
;
刘媛媛
;
李延辉
;
宋淑梅
收藏
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浏览/下载:2/0
  |  
提交时间:2019/12/17
铟锡锌氧化物薄膜
光学带隙
光电特性
射频功率
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