| 题名 | 铪铝氧化物复合绝缘介质薄膜及高迁移率锌铟锡氧化物薄膜晶体管的研究 |
| 作者 | 朱乐永[1] |
| 答辩日期 | 2015 |
| 授予单位 | 上海大学 |
| 导师 | 李喜峰 |
| 关键词 | 薄膜晶体管 溶液法 高k氧化物 锌铟锡氧化物 高迁移率 |
| 学位名称 | 硕士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2242200 |
| 专题 | 上海大学 |
| 作者单位 | [1]上海大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 朱乐永[1]. 铪铝氧化物复合绝缘介质薄膜及高迁移率锌铟锡氧化物薄膜晶体管的研究[D]. 上海大学. 2015. |
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