| 溅射气压对铟锡锌氧化物薄膜晶体管性能的影响 | |
| 刘媛媛; 赵继风; 李延辉; 宋淑梅; 辛艳青; 杨田林 | |
| 刊名 | 真空科学与技术学报
 |
| 2016 | |
| 卷号 | 36期号:4页码:391-396 |
| 关键词 | 溅射气压 铟锡锌氧化物薄膜晶体管 磁控溅射 光学带隙 |
| DOI | 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.04.02 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4758490 |
| 专题 | 山东大学 |
| 作者单位 | 1.山东大学空间科学与物理学院, 威海, 山东 264209, 中国. 2.山东大学空间科学与物理学院, 威海, 山东 264209, 中国. 3.山东大学空间科学与 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘媛媛,赵继风,李延辉,等. 溅射气压对铟锡锌氧化物薄膜晶体管性能的影响[J]. 真空科学与技术学报,2016,36(4):391-396. |
| APA | 刘媛媛,赵继风,李延辉,宋淑梅,辛艳青,&杨田林.(2016).溅射气压对铟锡锌氧化物薄膜晶体管性能的影响.真空科学与技术学报,36(4),391-396. |
| MLA | 刘媛媛,et al."溅射气压对铟锡锌氧化物薄膜晶体管性能的影响".真空科学与技术学报 36.4(2016):391-396. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论