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| 用于微机械器件和微电子机械系统的关键技术 期刊论文
2016, 卷号: 0, 期号: 3, 页码: 198-198
作者: 周波
  收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/12/09
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| 压电微机器人平面致动机理和谐振频率分析 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=JSYY200004003&dbname=CJFQ2000, 2012, 2012
刘方湖; 马培荪; 陈建平; 姚沁
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2017/06/19
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| 机械可靠性试验技术研究现状和展望 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=JXQD200702017&dbname=CJFQ2007, 2012, 2012
喻天翔; 宋笔锋; 万方义; 冯蕴雯
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2017/06/19
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| MEMS压力传感器在电阻点焊压力测试中的应用 期刊论文
2012, 2012
王锋; 宋永伦; 张军; 王文襄
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2017/06/16
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| 新型解耦式微陀螺的研究与设计及关键制造工艺的开发 学位论文
2011, 2011
闫鑫
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2016/02/14
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| 反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响 期刊论文
半导体技术, 2011, 期号: 01
戚玉婕; 车录锋; 孙腾; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2012/04/13
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| 静电激励MEMS微结构吸合电压尺寸效应研究 期刊论文
固体力学学报, 2011, 卷号: 32, 期号: 6, 页码: 541-548
作者: 王炳雷; 周慎杰; 赵俊峰; 陈曦
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/23
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| MEMS微型双稳态电磁继电器的设计 期刊论文
2010, 2010
李慧娟; 尤政; 张高飞; 杨建中; LI Hui-juan; YOU Zheng; ZHANG Gao fei; YANG Jian-zhong
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| SOI微机械结构和相关器件研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2008
武爱民
收藏 | 浏览/下载：25/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 基于局部基底弯曲法的高灵敏度薄膜应力测试技术 期刊论文
半导体学报, 2006
王莎莎; 陈兢; 栗大超; 黄玉波; 李志宏
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2015/11/12
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