反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响

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	反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响
	戚玉婕 ; 车录锋 ; 孙腾 ; 王跃林
刊名	半导体技术
	2011
期号	01
关键词	电容式加速度计反馈补偿参数 Q值微机械系统 MATLAB
ISSN号	1003-353X
中文摘要	高Q值MEMS电容式加速度计因具有很小的机械噪声,满足于高精度测量的需要,但欠阻尼的传感器系统动态性能较差,因此需要在闭环检测电路中通过补偿反馈模块施加电学阻尼,以降低系统Q值,改善系统的动态响应。首先通过MATLAB/SIMULINK仿真建立了带有延时的系统模型,进一步结合实际PCB板的测量,分析了不同反馈补偿参数下的阶跃响应和幅频响应曲线。实验结果表明,合适的反馈补偿参数能有效地降低系统Q值,改善动态响应。最后得出了该电容式加速度计在闭环系统下的较优比例微分参数的选择策略。
语种	中文
公开日期	2012-04-13
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/106990]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	戚玉婕,车录锋,孙腾,等. 反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响[J]. 半导体技术,2011(01).
APA	戚玉婕,车录锋,孙腾,&王跃林.(2011).反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响.半导体技术(01).
MLA	戚玉婕,et al."反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响".半导体技术 .01(2011).