| 题名 | 新型解耦式微陀螺的研究与设计及关键制造工艺的开发; Design and Fabrication Process Development for Novel Decoupled Micro Gyroscopes |
| 作者 | 闫鑫 |
| 答辩日期 | 2011 ; 2011 |
| 导师 | 陈旭远 |
| 关键词 | 微机械系统 陀螺 耦合误差 MEMS Gyroscope Coupling Error |
| 英文摘要 | 过去二十年来，随着MEMS技术的发展，硅微陀螺仪作为检测角速率或者角度的传感器，受到越来越多的关注，产品已应用于图像稳定系统，汽车安全系统以及导航与制导系统等。当输入角速度时，哥式效应的作用使得能量从驱动模态向检测模态发生转移，振动式硅微陀螺通过此时检测模态的振幅获得角度信息。制约振动式硅微陀螺性能的重要因素之一是机械耦合误差。有关机械耦合的研究文献较多，但是对半解耦陀螺以及全解耦陀螺的机械耦合误差分析很少有提及。 本文主要研究半解耦式陀螺与全解耦式陀螺的机械耦合误差，建立其分析模型。将半解耦陀螺结构简化为所有刚度集中在实际振动的方向，与振动方向正交方向刚度无限大。检测质量块的振动研究以驱动...; Micro gyroscopes, as the angular rate sensor or angular sensor, have attracted a great attention. Developed products have been used for applications, such as image stabilization and automotive safety devices, navigation and guidance systems. In the presence of an angular rotation, the energy is transferred from drive mode to sense mode due to Coriolis effects, the displacement change of sense mode...; 学位：工学博士; 院系专业：物理与机电工程学院物理学系_微电子学与固体电子学; 学号：19820070153914 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=32699 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/55104]  |
| 专题 | 物理技术－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 闫鑫. 新型解耦式微陀螺的研究与设计及关键制造工艺的开发, Design and Fabrication Process Development for Novel Decoupled Micro Gyroscopes[D]. 2011, 2011. |
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