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脉冲激光沉积法制备的Pb(Zr0.4Ti0.6)O3铁电薄膜漏电机理 期刊论文
河北大学学报(自然科学版), 2009, 卷号: 29, 期号: 5, 页码: 474-479
作者:  陈剑辉[1];  刘保亭[2];  孙杰[3];  霍骥川[4];  赵敬伟[5]
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蓝宝石衬底上磁控溅射法室温制备外延ZnO薄膜 期刊论文
人工晶体学报, 2009, 卷号: 38, 期号: 1, 页码: 74-78
作者:  周阳[1];  仇满德[2];  付跃举[3];  邢金柱[4];  霍骥川[5]
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磁控溅射法制备用作铜互连阻挡层的钛-铝薄膜 期刊论文
机械工程材料, 2009, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 83-86
作者:  邢金柱[1];  刘保亭[2];  霍骥川[3];  周阳[4];  李晓红[5]
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用于Cu互连阻挡层的非晶Ni-Al薄膜研究 期刊论文
功能材料, 2008, 卷号: 39, 期号: 12, 页码: 2005-2007
作者:  霍骥川[1];  刘保亭[2];  邢金柱[3];  周阳[4];  李晓红[5]
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一种用于铜互连的导电阻挡层材料及制备方法 专利
申请日期: 2008-01-01, 公开日期: 2008-10-15
作者:  刘保亭[1];  马良[2];  邢金柱[3];  霍骥川[4];  边芳[5]
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一种用于铜互连的导电阻挡层材料及制备方法 专利
申请日期: 2007-01-01, 公开日期: 2008-03-26
作者:  刘保亭[1];  马良[2];  霍骥川[3];  邢金柱[4];  边芳[5]
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