| 蓝宝石衬底上磁控溅射法室温制备外延ZnO薄膜 | |
| 周阳[1]; 仇满德[2]; 付跃举[3]; 邢金柱[4]; 霍骥川[5]; 彭英才[6]; 刘保亭[7] | |
| 刊名 | 人工晶体学报
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| 2009 | |
| 卷号 | 38期号:1页码:74-78 |
| 关键词 | ZnO薄膜 射频磁控溅射 外延生长 |
| ISSN号 | 1000-985X |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5114248 |
| 专题 | 河北大学 |
| 作者单位 | [1]河北大学物理科学与技术学院,保定,071002[2]河北大学化学与环境科学学院,保定,071002[3]河北大学物理科学与技术学院,保定,071002[4]河北大学物理科学与技术学院,保定,071002[5]河北大学物理科学与技术学院,保定,071002[6]河北大学电子信息工程学院,保定,071002[7]河北大学物理科学与技术学院,保定,071002 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周阳[1],仇满德[2],付跃举[3],等. 蓝宝石衬底上磁控溅射法室温制备外延ZnO薄膜[J]. 人工晶体学报,2009,38(1):74-78. |
| APA | 周阳[1].,仇满德[2].,付跃举[3].,邢金柱[4].,霍骥川[5].,...&刘保亭[7].(2009).蓝宝石衬底上磁控溅射法室温制备外延ZnO薄膜.人工晶体学报,38(1),74-78. |
| MLA | 周阳[1],et al."蓝宝石衬底上磁控溅射法室温制备外延ZnO薄膜".人工晶体学报 38.1(2009):74-78. |
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