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大连理工大学 [4]
长春应用化学研究所 [1]
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专利 [1]
会议论文 [1]
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
项目 [1]
发表日期
2009 [1]
2006 [1]
2005 [1]
2002 [1]
1987 [1]
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会切磁场约束ICP增强电离的非平衡磁控溅射薄膜沉积装置
专利
申请日期: 2009-01-01, 公开日期: 2009-07-08
作者:
任春生
;
张家良
;
王德真
;
王友年
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提交时间:2019/12/24
射频等离子体增强非平衡磁控溅射沉积技术
期刊论文
真空, 2006, 卷号: 43, 页码: 9-12
作者:
齐雪莲
;
任春生
;
马腾才
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/27
非平衡磁控溅射
ICP增强电离
薄膜沉积
射频等离子体增强非平衡磁控溅射沉积技术
会议论文
TFC'05全国薄膜技术学术研讨会, 中国大连, 2005-09-01
作者:
齐雪莲
;
任春生
;
马腾才
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提交时间:2020/01/02
非平衡磁控
溅射
ICP增强电离
沉积
非平衡磁控溅射ICP增强电离会切磁场约束沉积技术
项目
2002-
作者:
任春生
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提交时间:2020/01/02
钠原子激光增强电离光谱研究—以石墨杯为原子化器 原子吸收光谱法对发样中Zn、Cu、Mn、Ap的测定
学位论文
博士, 中国科学院长春应用化学研究所: 中国科学院长春应用化学研究所, 1987
刘丽萍
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提交时间:2011/01/17
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