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光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析 期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 633-638
张成山; 孟庆孔
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单圈绝对式光电轴角编码器原理的研究 学位论文
长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2006
作者:  陈赟
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2012/03/21
一种亚纳米级栅距变化量的变栅距光栅分度控制方法的研究 学位论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2002
作者:  时轮
收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2012/03/21
高精度的光电式衍射光栅刻划机 期刊论文
仪器仪表学报, 2001, 期号: S2, 页码: 103-104
时轮; 郝德阜; 齐向东
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三号间歇式光电控制光栅刻划机 成果
全国; 科学院; 吉林省科技大会成果奖, 1978
张庆英; 杨厚民; 赵明辰; 顾支吾; 肖泽林; 高文华; 史兆礼
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2014/11/24


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