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长春光学精密机械与物... [5]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [2]
成果 [1]
发表日期
2014 [1]
2006 [1]
2002 [1]
2001 [1]
1978 [1]
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光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析
期刊论文
长春工业大学学报(自然科学版), 2014, 期号: 6, 页码: 633-638
张成山
;
孟庆孔
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2015/04/17
光电式光栅刻划机
衍射光栅干涉仪
莫尔条纹
单圈绝对式光电轴角编码器原理的研究
学位论文
长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2006
作者:
陈赟
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/03/21
单圈绝对式光电轴角编码器
编码方式
线阵ccd
可编程逻辑器件
驱动电路
接口芯片
位置定位算法
数据采集系统
一种亚纳米级栅距变化量的变栅距光栅分度控制方法的研究
学位论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2002
作者:
时轮
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2012/03/21
变栅距光栅
亚纳米
分度
高精度的光电式衍射光栅刻划机
期刊论文
仪器仪表学报, 2001, 期号: S2, 页码: 103-104
时轮
;
郝德阜
;
齐向东
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2013/03/11
光栅刻划机
控制原理
对比
三号间歇式光电控制光栅刻划机
成果
全国; 科学院; 吉林省科技大会成果奖, 1978
张庆英
;
杨厚民
;
赵明辰
;
顾支吾
;
肖泽林
;
高文华
;
史兆礼
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提交时间:2014/11/24
光电控制
光刻机
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