| 三号间歇式光电控制光栅刻划机 | |
| 张庆英 ; 杨厚民 ; 赵明辰 ; 顾支吾 ; 肖泽林 ; 高文华 ; 史兆礼 | |
| 1978-10 | |
| 获奖类别 | 全国; 科学院; 吉林省科技大会成果奖 |
| 关键词 | 光电控制 光刻机 |
| 中文摘要 | 该台机器反射光栅测量位移,通过光电计数器、电磁离合器等装置,精确控制光栅机滑座的位置。此光栅机是高精度光栅机, 性能是稳定的。于1978年作为“光栅刻划技术及平面衍射光栅”的一部分,获全国科学大会奖。 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/41598]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张庆英,杨厚民,赵明辰,等. 三号间歇式光电控制光栅刻划机. 全国; 科学院; 吉林省科技大会成果奖. 1978. |
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