光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析

	光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析
	张成山 ; 孟庆孔
刊名	长春工业大学学报(自然科学版)
	2014-12-15
期号	6 页码:633-638
关键词	光电式光栅刻划机衍射光栅干涉仪莫尔条纹
中文摘要	采用莫尔条纹法对光栅干涉仪在工作过程中产生的干涉条纹进行分析,利用莫尔条纹的平均误差作用减少光栅刻划过程中的局部误差。实验研究表明,该方法控制光栅刻划机刻划出300l/mm和600l/mm的光栅,受环境影响小、结构简单且装调方便。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43631]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	张成山,孟庆孔. 光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析[J]. 长春工业大学学报(自然科学版),2014(6):633-638.
APA	张成山,&孟庆孔.(2014).光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析.长春工业大学学报(自然科学版)(6),633-638.
MLA	张成山,et al."光电式光栅刻划机干涉控制系统及精度分析".长春工业大学学报(自然科学版) .6(2014):633-638.