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浏览/检索结果: 共11条，第1-10条 帮助 限定条件 专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 单芯片集成加速度计陀螺的研究 会议论文 刘俊; 石云波; 张文栋 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12 陀螺仪 加速度计 静电驱动 单芯片集成   16×16光开关微镜阵列 期刊论文 半导体学报, 2008 陈庆华; 吴文刚; 王子千; 闫桂珍; 郝一龙 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12 光开关 微镜阵列 大角度 静电驱动 微电机系统PACC:4283 4225B 4230Q optical switch micro-mirror array large rotation electrostatic actuation MEMS   复合静电驱动结构致动的内旋转微镜 期刊论文 半导体学报, 2005 吴文刚; 陈庆华; 尹冬青; 闫桂珍; 陈章渊; 郝一龙; 徐安士 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/12 微镜 复合静电驱动结构 平板驱动器 垂直梳齿驱动器 硅混合微加工 micromirror hybrid electrostatic driving structure planar plate drive vertical comb drive mixed silicon micromachining   星载自适应光学系统新型可变形反射镜的研究 期刊论文 压电与声光, 2005 余洪斌; 陈海清; 竺子民; 张大成; 李婷 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12 可变形反射镜  体微加工  静电驱动  阳极键合   硅微机械扭转微镜的研究进展 期刊论文 中国机械工程, 2005 栗大超; 吴文刚; 闫桂珍; 傅星; 郝一龙; 胡小唐 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12 MEMS 扭转微镜 压电驱动 电磁驱动 电热驱动 静电驱动   自适应光学系统中大有效反射面积可变形反射镜的设计与制造 其他 2004-01-01 汪超; 陈海青; 余洪斌 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/10/23 自适应光学系统  变形镜  静电驱动  体硅工艺  凸角补偿   基于MEMS技术的一种新型可变形反射镜 期刊论文 半导体学报, 2004 余洪斌; 陈海清; 竺子民; 张大成; 李婷 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12 可变形反射镜 体微加工 静电驱动 响应频率   基于硅微加工技术的新型变形反射镜 期刊论文 强激光与粒子束, 2004 余洪斌; 陈海清; 张大成; 竺子民; 李婷 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12 变形反射镜 体微加工 静电驱动 凸角补偿 阳极键合   单芯片集成加速度计陀螺的研究 期刊论文 测试技术学报, 2003 刘俊; 石云波; 张文栋 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/10/23 陀螺仪  加速度计  静电驱动  单芯片集成   一种新型静电驱动的单轴扭转微镜 其他 2003-01-01 王丛舜; 熊春阳; 杨振川; 张大成; 方竞 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12 梳齿驱动器 体硅工艺 静电驱动 扭转微镜 微机电系统