硅微机械扭转微镜的研究进展

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	硅微机械扭转微镜的研究进展; Progress of Si-based MEMS Torsion Micromirror
	栗大超 ; 吴文刚 ; 闫桂珍 ; 傅星 ; 郝一龙 ; 胡小唐
刊名	中国机械工程
	2005
关键词	MEMS 扭转微镜压电驱动电磁驱动电热驱动静电驱动
DOI	10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.008
英文摘要	硅微机械扭转微镜在国防和民用领域都有着重要的应用.根据致动机理的不同,从压电驱动方式、电磁驱动方式、电热驱动方式和静电驱动方式等方面系统地阐述了硅微机械扭转微镜的研究现状与发展方向,同时重点讨论了硅微机械扭转微镜在医疗成像和生物技术等领域中的具体应用.; 中文核心期刊要目总览(PKU); 中国科学引文数据库(CSCD); 0; z1; 27-32; 16
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/273743]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	栗大超,吴文刚,闫桂珍,等. 硅微机械扭转微镜的研究进展, Progress of Si-based MEMS Torsion Micromirror[J]. 中国机械工程,2005.
APA	栗大超,吴文刚,闫桂珍,傅星,郝一龙,&胡小唐.(2005).硅微机械扭转微镜的研究进展.中国机械工程.
MLA	栗大超,et al."硅微机械扭转微镜的研究进展".中国机械工程 (2005).