星载自适应光学系统新型可变形反射镜的研究

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	星载自适应光学系统新型可变形反射镜的研究; Study of a Novel Deformable Mirror for Adaptive Optics Used in Satellite
	余洪斌 ; 陈海清 ; 竺子民 ; 张大成 ; 李婷
刊名	压电与声光
	2005
关键词	可变形反射镜体微加工静电驱动阳极键合
DOI	10.3969/j.issn.1004-2474.2005.04.005
英文摘要	给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法.从静电驱动的角度阐述此种反射镜的结构设计原理,并对具体加工中的腐蚀和键合工艺进行了详细讨论.成功制造出有效反射面积为30 mm×30 mm,拥有49个静电驱动单元的可变形反射镜.; 中文核心期刊要目总览(PKU); 中国科学引文数据库(CSCD); 0; 4; 352-355; 27
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/234884]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	余洪斌,陈海清,竺子民,等. 星载自适应光学系统新型可变形反射镜的研究, Study of a Novel Deformable Mirror for Adaptive Optics Used in Satellite[J]. 压电与声光,2005.
APA	余洪斌,陈海清,竺子民,张大成,&李婷.(2005).星载自适应光学系统新型可变形反射镜的研究.压电与声光.
MLA	余洪斌,et al."星载自适应光学系统新型可变形反射镜的研究".压电与声光 (2005).