基于MEMS技术的一种新型可变形反射镜

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	基于MEMS技术的一种新型可变形反射镜; A Novel Deformable Mirror Based on MEMS Technology
	余洪斌 ; 陈海清 ; 竺子民 ; 张大成 ; 李婷
刊名	半导体学报
	2004
关键词	可变形反射镜体微加工静电驱动响应频率
DOI	10.3321/j.issn:0253-4177.2004.09.021
英文摘要	给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法,并且通过工艺流片制造出有效反射面积为30mm×30mm,拥有49个静电驱动单元的可变形反射镜.测试得到的镜面变形-电压数据显示其与模拟结果具有很好的一致性.; 中文核心期刊要目总览(PKU); 中国科学引文数据库(CSCD); 0; 9; 1154-1158; 25
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/240415]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	余洪斌,陈海清,竺子民,等. 基于MEMS技术的一种新型可变形反射镜, A Novel Deformable Mirror Based on MEMS Technology[J]. 半导体学报,2004.
APA	余洪斌,陈海清,竺子民,张大成,&李婷.(2004).基于MEMS技术的一种新型可变形反射镜.半导体学报.
MLA	余洪斌,et al."基于MEMS技术的一种新型可变形反射镜".半导体学报 (2004).