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小尺寸液晶显示模组抗静电方法研究 学位论文
: 大连理工大学, 2014
作者:  李蓉
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/12/11
基于模糊控制的高频高压除尘电源研究 学位论文
: 西安理工大学, 2012
作者:  赵睿
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/20
大行程MEMS面外驱动器的设计与分析 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
任豪
收藏  |  浏览/下载:78/0  |  提交时间:2014/12/11
静电驱动的数字微流控芯片技术研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2010
刘翔
收藏  |  浏览/下载:138/0  |  提交时间:2012/03/06
基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器的设计与制作 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2010
肖育华
收藏  |  浏览/下载:113/0  |  提交时间:2012/03/06
MEMS电容式加速度传感器检测电路减噪与微机械谐振器静电自激驱动研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2006
王俊杰  
收藏  |  浏览/下载:34/0  |  提交时间:2012/03/06
基于MEMS技术的Fabry-Perot腔长可调滤波器研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2006
龙文华  
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2012/03/06
多晶SiC梳齿驱动器的结构分析与优化设计 学位论文
: 西安理工大学, 2006
作者:  高洁
收藏  |  浏览/下载:0/0  |  提交时间:2019/12/25
MOEMS光开关阵列芯片的研究 学位论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2004
作者:  兰卫华
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静电驱动压电检测微机械陀螺仪的力学分析 学位论文
作者:  蒋玉燕
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