| 题名 | 基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器的设计与制作 |
| 作者 | 肖育华 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2010 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 车录峰 |
| 关键词 | 蛇形曲折梁 塑性变形 垂直驱动 静电梳齿驱动器 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 基于MEMS的光学器件，大都需要驱动器结构，静电梳齿驱动器有很多优点：大驱动距离、稳定、可靠、设计灵活。静电梳齿驱动器常见用于实现平面内驱动，但实现纵向驱动比较困难。 本论文设计并制作了基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器，中央可动微镜由四组蛇形曲折梁支撑，依靠位错梳齿产生垂直静电力以实现垂直驱动。驱动器采用蛇形曲折梁，减小了单元面积，X,Y轴刚度约为Z轴9倍，从而使驱动器对于Z方向静电力敏感，X,Y方向静电力相对不敏感，以实现在Z方向垂直平动。工艺上采用硅高温塑性变形的方法制作垂直位错梳齿，理论上30V |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82492]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 肖育华. 基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器的设计与制作[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2010. |
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