| 题名 | 基于MEMS技术的Fabry-Perot腔长可调滤波器研究 |
| 作者 | 龙文华 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 2006 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） |
| 导师 | 王跃林 |
| 关键词 | F-P滤波器 微机电系统 静电驱动 金属薄膜 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 中文摘要 | 法布里-珀罗(Fabry-Perot)效应利用多光束干涉效应能够产生精细条纹，具有极高的色分辨本领，利用F-P效应制作的各种滤波器也成为现代光通信和传感器领域中的重要器件。利用MEMS(Micro Electro-Mechanical System)技术制作的Fabry-Perot滤波器不但能充分展现其固有的性能，而且由于具有体积小、集成度高、成本低等优势，成为该类型滤波器的重要研究方向。本文提出了一种利用MEMS技术制作的腔长可调的F-P滤波器，从制作工艺上对其进行了探索。 本文介绍了微细加工的一般技术 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/82744]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 龙文华 . 基于MEMS技术的Fabry-Perot腔长可调滤波器研究[D]. 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） . 2006. |
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