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题名	静电驱动压电检测微机械陀螺仪的力学分析
作者	蒋玉燕
导师	孙博华
关键词	微机械陀螺仪 压电薄膜 静电驱动梳状结构 蟹脚型弹性梁 压电效应理论 陀螺仪方程 模态分析
学位名称	硕士
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4436729
专题	暨南大学
作者单位	暨南大学
推荐引用方式 GB/T 7714	蒋玉燕. 静电驱动压电检测微机械陀螺仪的力学分析[D].

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