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| 超薄硅纳米谐振梁的制作及谐振特性的测量 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2008, 期号: 01
夏晓媛; 李昕欣; 王跃林; 李铁; 杨衡; 焦继伟
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| 在绝缘体上硅的硅片上纳米宽度谐振结构及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1792765, 申请日期: 2006-06-28, 公开日期: 2006-06-28
杨恒; 许科峰; 李铁; 焦继伟; 李昕欣; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 在（111）晶面的硅片上纳米梁的结构及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1743261, 申请日期: 2006-03-08, 公开日期: 2006-03-08
杨恒; 李铁; 焦继伟; 李昕欣; 王跃林
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| 基于MEMS工艺制作的硅纳米线及其电学性质 期刊论文
半导体学报, 2006, 期号: 09
刘文平; 李铁; 杨恒; 焦继伟; 李昕欣; 王跃林
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| 先进体硅机械加工技术——从微米到纳米 会议论文
第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集, 2006
李昕欣; 王跃林; 李铁; 杨恒; 焦继伟
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| 传感技术联合国家重点实验室的MEMS及传感器工作 会议论文
第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集, 2006
王跃林; 王渭源; 李昕欣; 焦继伟; 陆德仁; 熊斌; 罗乐; 吴亚明; 李铁; 杨建义
收藏 | 浏览/下载：31/0 | 提交时间：2012/01/18 |
| 压阻式微机械陀螺接口电路的数学原理 期刊论文
传感器技术, 2005, 期号: 08
陈雪萌; 李昕欣; 王跃林; 焦继伟; 杨恒; 刘民
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| 带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器 期刊论文
半导体学报, 2005, 期号: 03
程保罗; 李昕欣; 王跃林; 焦继伟; 车录锋; 杨恒; 戈肖鸿; 宋朝晖
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 从微到纳尺度缩小进程中的传感器技术应对方略探讨 会议论文
第九届全国敏感元件与传感器学术会议, 2005
李昕欣; 王跃林; 鲍敏杭; 焦继伟; 李铁; 杨恒; 罗乐; 车录锋
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2012/01/18
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| 新型侧壁绝缘体硅微机械工艺 期刊论文
仪表技术与传感器, 2005, 期号: 01
程保罗; 李昕欣; 王跃林; 焦继伟; 车录锋; 张鲲; 戈肖鸿; 宋朝晖
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2012/01/06
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