从微到纳尺度缩小进程中的传感器技术应对方略探讨

	从微到纳尺度缩小进程中的传感器技术应对方略探讨
	李昕欣 ; 王跃林 ; 鲍敏杭 ; 焦继伟 ; 李铁 ; 杨恒 ; 罗乐 ; 车录锋
	2005
会议名称	第九届全国敏感元件与传感器学术会议
会议日期	2005
关键词	传感器微米尺度纳米效应
中文摘要	本文回顾和概括了MEMS传感器进入微米尺度后解决的几个关键性问题.文中结合微传感器发展的典型事例进行分析,并对我国科学工作者在其中的贡献给予肯定.在总结的基础上分析目前传感器走向纳米尺度的一些相关概念理解和需要着重研究的纳米效应问题.对传感器从微到纳的发展趋势进行了展望.
会议网址	http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6198713.aspx
会议录	第九届全国敏感元件与传感器学术会议论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55701]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	李昕欣,王跃林,鲍敏杭,等. 从微到纳尺度缩小进程中的传感器技术应对方略探讨[C]. 见:第九届全国敏感元件与传感器学术会议. 2005.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_6198713.aspx.