带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器

	带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器
	程保罗 ; 李昕欣 ; 王跃林 ; 焦继伟 ; 车录锋 ; 杨恒 ; 戈肖鸿 ; 宋朝晖
刊名	半导体学报
	2005
期号	03
关键词	智能材料智能结构
ISSN号	0253-4177
中文摘要	研究了一种带有自检功能的在平面内自限制压阻式加速度传感器.为实现该加速度传感器,提出了一套新的体硅微机械工艺,使用普通硅片取代SOI硅片来制作器件.传感器采用在深槽侧壁(悬臂梁弯曲的表面)制作压阻的方法,灵敏度比在硅表面上制作压阻的传统器件高近一倍.传感器利用集成在内的静电驱动器,实现电自检测功能.
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50509]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	程保罗,李昕欣,王跃林,等. 带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器[J]. 半导体学报,2005(03).
APA	程保罗.,李昕欣.,王跃林.,焦继伟.,车录锋.,...&宋朝晖.(2005).带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器.半导体学报(03).
MLA	程保罗,et al."带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器".半导体学报 .03(2005).