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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 发表日期：2012    内容类型：期刊论文    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Studies on H2O-based Atomic Layer Deposition of Al2O3 Dielectric on Pristine Graphene 期刊论文 JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS, 2012, 卷号: 27, 期号: 9, 页码: 956-960 Zhang, YW; Wan, L; Cheng, XH; Wang, ZJ; Xia, C; Cao, D; Jia, TT; Yu, YH 收藏  |  浏览/下载：85/0  |  提交时间：2013/04/17 graphene  atomic layer deposition  Al2O3 dielectrics   Plasma enhanced atomic layer deposition of HfO2 with in situ plasma treatment 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 93, 页码: 15-18 Xu, DW; Cheng, XH; Zhang, YW; Wang, ZJ; Xia, C; Cao, D; Yu, YH; Shen, DS 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2013/04/17 PEALD  HfO2  Plasma treatment  High-k   Realization of 850 V breakdown voltage LDMOS on Simbond SOI 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 91, 页码: 102-105 Wang, ZJ; Cheng, XH; He, DW; Xia, C; Xu, DW; Yu, YH; Zhang, D; Wang, YY; Lv, YQ; Gong, DW; Shao, K 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2013/04/17 SOI  Simbond  High voltage device  LDMOS   Studies on H2O-based Atomic Layer Deposition of Al2O3 Dielectric on Pristine Graphene 期刊论文 JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS, 2012, 卷号: 27, 期号: 9, 页码: 956-960 Zhang, YW; Wan, L; Cheng, XH（重点实验室）; Wang, ZJ; Xia, C; Cao, D; Jia, TT; Yu, YH（重点实验室） 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2013/05/10 Materials Science  Ceramics   Plasma enhanced atomic layer deposition of HfO2 with in situ plasma treatment 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 93, 页码: 15-18 Xu, DW; Cheng, XH; Zhang, YW; Wang, ZJ; Xia, C; Cao, D; Yu, YH; Shen, DS 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/05/10 Engineering  Physics  Electrical & Electronic  Nanoscience & Nanotechnology  Applied  Optics   Realization of 850 V breakdown voltage LDMOS on Simbond SOI 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2012, 卷号: 91, 页码: 102-105 Wang, ZJ; Cheng, XH（重点实验室）; He, DW; Xia, C; Xu, DW; Yu, YH（重点实验室）; Zhang, D; Wang, YY; Lv, YQ; Gong, DW; Shao, K 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/05/10 Engineering  Physics  Electrical & Electronic  Nanoscience & Nanotechnology  Applied  Optics